Starikov, A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումStarikov, Alexander. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումStarikov, Alexander. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.