Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Stover, John
Format: Electrònic eBook
Idioma:anglès
Publicat: SPIE Digital Library, 11/4/96
Matèries:
Accés en línia:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Descripció
Descripció de l’ítem:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Descripció física:1 online resource
Format:Mode of access: Internet
ISBN:9780819422507
Accés:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students