Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Stover, John
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 11/4/96
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

مواد مشابهة