Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays

Detalles Bibliográficos
Outros autores: Stover, John
Formato: Electrónico eBook
Idioma:inglés
Publicado: SPIE Digital Library, 11/4/96
Subjects:
Acceso en liña:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

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