Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Stover, John
פורמט: אלקטרוני ספר אלקטרוני
שפה:אנגלית
יצא לאור: SPIE Digital Library, 11/4/96
נושאים:
גישה מקוונת:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

פריטים דומים