Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays

Бібліографічні деталі
Інші автори: Stover, John
Формат: Електронний ресурс eКнига
Мова:Англійська
Опубліковано: SPIE Digital Library, 11/4/96
Предмети:
Онлайн доступ:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Схожі ресурси