Pang, S. Micromachining and Microfabrication Process Technology II. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումPang, Stella. Micromachining and Microfabrication Process Technology II. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումPang, Stella. Micromachining and Microfabrication Process Technology II. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.