Micromachined Devices and Components II

Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Chau, Kevin
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 9/17/96
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)