Micromachined Devices and Components II

Бібліографічні деталі
Інші автори: Chau, Kevin
Формат: Електронний ресурс eКнига
Мова:Англійська
Опубліковано: SPIE Digital Library, 9/17/96
Предмети:
Онлайн доступ:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)