Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Rai-Choudhury, Prosenjit
Format: Electronisk eBog
Sprog:engelsk
Udgivet: SPIE Digital Library, 1/1/97
Fag:
Online adgang:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Lignende værker