Jones, S. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Jones, Susan. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Jones, Susan. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.