Yoon, S. F. Microlithographic Techniques in IC Fabrication. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Yoon, Soon Fatt. Microlithographic Techniques in IC Fabrication. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Yoon, Soon Fatt. Microlithographic Techniques in IC Fabrication. SPIE Digital Library.
Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.