In-Line Characterization Techniques for Performance and Yield Enhancement in Microelectronic Manufacturing

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: DeBusk, Damon
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 9/2/97
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια