Chang, S. Micromachining and Microfabrication Process Technology III. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Chang, Shih-Chia. Micromachining and Microfabrication Process Technology III. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (9th ed.)Chang, Shih-Chia. Micromachining and Microfabrication Process Technology III. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..