Friedrich, C. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Friedrich, Craig. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Friedrich, Craig. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.