Friedrich, C. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Friedrich, Craig. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Friedrich, Craig. Microlithography and Metrology in Micromachining III. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.