Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Stover, John
Format: Electrònic eBook
Idioma:anglès
Publicat: SPIE Digital Library, 4/1/98
Matèries:
Accés en línia:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Ítems similars