Style de citation APA (7e éd.)

Vladimirsky, Y. Emerging Lithographic Technologies II. SPIE Digital Library.

Style de citation Chicago (17e éd.)

Vladimirsky, Yuli. Emerging Lithographic Technologies II. SPIE Digital Library.

Style de citation MLA (9e éd.)

Vladimirsky, Yuli. Emerging Lithographic Technologies II. SPIE Digital Library.

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