Singh, B. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումSingh, Bhanwar. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումSingh, Bhanwar. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.