Citação norma APA

Singh, B. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Singh, Bhanwar. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Singh, Bhanwar. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XII. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.