Smith, J. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Smith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Smith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.