French, P. Micromachined Devices and Components IV. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)French, Paddy. Micromachined Devices and Components IV. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)French, Paddy. Micromachined Devices and Components IV. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.