Ehrfeld, W. Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoEhrfeld, Wolfgang. Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAEhrfeld, Wolfgang. Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS. SPIE Digital Library.
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