Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Ehrfeld, Wolfgang
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 3/10/99
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

مواد مشابهة