Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Бусад зохиолчид: Ehrfeld, Wolfgang
Формат: Цахим Цахим ном
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: SPIE Digital Library, 3/10/99
Нөхцлүүд:
Онлайн хандалт:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Ижил төстэй зүйлс