Yallup, K. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Yallup, Kevin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Yallup, Kevin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.