Photomask and X-Ray Mask Technology VI

Opis bibliograficzny
Kolejni autorzy: Morimoto, Hiroaki
Format: Elektroniczne E-book
Język:angielski
Wydane: SPIE Digital Library, 8/25/99
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Opis
Deskrypcja:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Opis fizyczny:1 online resource
Format:Mode of access: Internet
ISBN:9780819432308
Ograniczenie dostępu:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students