Smith, J. Micromachining and Microfabrication Process Technology V. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Smith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology V. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Smith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology V. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.