Chau, K. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Chau, Kevin. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Chau, Kevin. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.