APA (7. basım) Alıntı

Sullivan, N. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

Chicago Style (17. basım) Atıf

Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

MLA (9th ed.) Atıf

Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..