Sullivan, N. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.