Progler, C. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումProgler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումProgler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.