Progler, C. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Progler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Progler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.