Progler, C. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfProgler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfProgler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..