Progler, C. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Progler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Progler, Christopher. Optical Microlithography XIII. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.