Courtois, B. Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Courtois, Bernard. Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Courtois, Bernard. Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS. SPIE Digital Library.
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