Morimoto, H. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Morimoto, Hiroaki. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Morimoto, Hiroaki. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.