Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
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