Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.