Wong, A. K. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE Digital Library.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.