Sullivan, N. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.