Sullivan, N. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিSullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
M.L.A (9 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিSullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV. SPIE Digital Library.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.