Progler, C. Optical Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingProgler, Christopher. Optical Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingProgler, Christopher. Optical Microlithography XIV. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.