Gorecki, C. Microsystems Engineering: Metrology and Inspection. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Gorecki, Christophe. Microsystems Engineering: Metrology and Inspection. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Gorecki, Christophe. Microsystems Engineering: Metrology and Inspection. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.