Fallon, M. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.