APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Fallon, M. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.