Цитирование APA (7-е изд.)

Fallon, M. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Fallon, Martin. Process and Equipment Control in Microelectronic Manufacturing II. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.