APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Behringer, U. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.