MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Behringer, Uwe
פורמט: אלקטרוני ספר אלקטרוני
שפה:אנגלית
יצא לאור: SPIE Digital Library, 4/30/01
נושאים:
גישה מקוונת:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

פריטים דומים