Lithographic and Micromachining Techniques for Optical Component Fabrication

Dettagli Bibliografici
Altri autori: Kley, Ernst-Bernhard
Natura: Elettronico eBook
Lingua:inglese
Pubblicazione: SPIE Digital Library, 11/9/01
Soggetti:
Accesso online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Descrizione
Descrizione del documento:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Descrizione fisica:1 online resource
Natura:Mode of access: Internet
ISBN:9780819441546
Accesso:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students